Твоя библиотека
Главная
Список разделов
Популярное
Главная
Геннадий Кузнецов
Автор: Геннадий Кузнецов
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
