Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

3.55 из 5, отдано 23 голосов

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.

Категория: электроника

Правообладатель: МИСиС

Год: 2007

Легальная стоимость: 548.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» онлайн:

Комментарии ():