Главная Аскер Кушхов

Автор: Аскер Кушхов

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы.

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций.

Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций