Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Категория: приборостроение
ISBN: 978-5-7038-3729-0
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2013
Легальная стоимость: 118.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():