Главная В. Ю. Васильев

Автор: В. Ю. Васильев

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники.

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

Современное производство изделий микроэлектроники.

Современное производство изделий микроэлектроники

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем.

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов.

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов