Ионная и фотонная обработка материалов

2.85 из 5, отдано 19 голосов

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.

Категория: прочая образовательная литература

ISBN: 978-985-06-3395-8

Правообладатель: Вышэйшая школа

Легальная стоимость: 281.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Ионная и фотонная обработка материалов» онлайн:

Комментарии ():