В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
Категория: прочая образовательная литература
Правообладатель: МИСиС
Год: 2008
Легальная стоимость: 588.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():