В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Категория: электроника
ISBN: 978-985-08-2521-6
Правообладатель: ИД “Белорусская наука”
Год: 2021
Легальная стоимость: 650 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():