Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

3.8 из 5, отдано 17 голосов

В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.

Категория: электроника

Правообладатель: МИСиС

Год: 2008

Легальная стоимость: 704.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций» онлайн:

Комментарии ():