Ионно-плазменная обработка материалов

3.7 из 5, отдано 25 голосов

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Категория: электроника

Правообладатель: МИСиС

Год: 2008

Легальная стоимость: 668.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Ионно-плазменная обработка материалов» онлайн:

Комментарии ():