Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа

4.3 из 5, отдано 24 голосов

Владимир Астахов

В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001.

Категория: материаловедение

Правообладатель: МИСиС

Год: 2007

Легальная стоимость: 132.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+