Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

4.3 из 5, отдано 17 голосов

В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.

Категория: материаловедение

Правообладатель: МИСиС

Год: 2007

Легальная стоимость: 120.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев» онлайн:

Комментарии ():