Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
Категория: физика
ISBN: 978-5-7038-3319-3
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2009
Легальная стоимость: 236.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():