Настоящая монография содержит теоретические и экспериментальные результаты исследований в области формирования твердых растворов на основе SiC и соединений AlN, GaN, NbC, TiC, ZrC методами жидкофазной и газофазной эпитаксии. В работе представлены электрофизические, оптические и структурные свойства монокристаллов, эпитаксиальных слоев и гетероструктур на основе твердых растворов SiC, а также рассмотрены их приборные применения. Книга адресована научным работникам, аспирантам и студентам, работающим в области физики и технологии широкозонных полупроводниковых материалов, а также специалистам электронной промышленности.
Категория: монографии
ISBN: 978-5-9221-1297-0
Правообладатель: Издательская фирма "Физико-математическая литература"
Год: 2011
Легальная стоимость: 799.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():