Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

2.55 из 5, отдано 22 голосов

В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.

Категория: учебно-методические пособия

Правообладатель: МИСиС

Год: 2005

Легальная стоимость: 248.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом» онлайн:

Комментарии ():