В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
Категория: учебно-методические пособия
Правообладатель: МИСиС
Год: 2015
Легальная стоимость: 224.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():