Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы

3.85 из 5, отдано 14 голосов

В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.

Категория: учебно-методические пособия

Правообладатель: МИСиС

Год: 2012

Легальная стоимость: 496.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы» онлайн:

Комментарии ():