Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Категория: учебно-методические пособия
ISBN: 978-5-7038-4675-9
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Легальная стоимость: 144.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():