Рассматривается основное направление развития нанотехнологии в электронике. Сделан подробный обзор технологий получения наноматериалов: нанопорошков, углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов. Изложены основные свойства применяемых в наноэлектронике материалов; описаны методы применения их в полупроводниковых приборах и системах. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, разрабатывающих наноустройства.
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-9729-1809-6
Правообладатель: Инфра-Инженерия
Год: 2024
Легальная стоимость: 1150.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():