Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-7038-5350-4
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Год: 2020
Легальная стоимость: 180.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():