Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

4.4 из 5, отдано 9 голосов

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Категория: учебники и пособия для вузов

ISBN: 978-5-9729-0337-5

Правообладатель: Инфра-Инженерия

Год: 2019

Легальная стоимость: 910.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике» онлайн:

Комментарии ():