Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-9729-0337-5
Правообладатель: Инфра-Инженерия
Год: 2019
Легальная стоимость: 910.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():