Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-985-08-2298-7
Правообладатель: Издательский дом “Белорусская наука”
Год: 2018
Легальная стоимость: 699.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():