Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Категория: учебники и пособия для вузов
Правообладатель: МИСиС
Год: 2013
Легальная стоимость: 176.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():