Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-00101-830-8
Правообладатель: Лаборатория знаний
Год: 2020
Легальная стоимость: 340.00 руб.
Ограничение по возрасту: 12+
Комментарии ():