Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

4.05 из 5, отдано 18 голосов

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Категория: учебники и пособия для вузов

ISBN: 978-5-7038-3729-0

Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана

Год: 2013

Легальная стоимость: 118.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» онлайн:

Комментарии ():