Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-9729-0846-2
Правообладатель: Инфра-Инженерия
Легальная стоимость: 860.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():