Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-7038-4141-9
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Год: 2015
Легальная стоимость: 180.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():