Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям "Конструирование и технология электронных средств" (211000), "Наноинженерия" (152200), "Радиотехника" (210400).
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-7038-4141-9
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2024
Легальная стоимость: 180 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():