Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

3.3 из 5, отдано 5 голосов

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Категория: учебники и пособия для вузов

ISBN: 978-985-08-1993-2

Правообладатель: Издательский дом “Белорусская наука”

Год: 2016

Легальная стоимость: 621.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники» онлайн:

Комментарии ():