Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Категория: техническая литература
ISBN: 978-5-7038-5369-6
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2023
Легальная стоимость: 154.9 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():