Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Категория: техническая литература
ISBN: 978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1
Правообладатель: Лаборатория знаний
Год: 2020
Легальная стоимость: 242.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():