Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Категория: техническая литература
ISBN: 978-5-7038-3798-6
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2014
Легальная стоимость: 118.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():