Расчет вакуумных систем технологического оборудования

2.85 из 5, отдано 18 голосов

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Категория: техническая литература

ISBN: 978-5-7038-5813-4

Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Год: 2022

Легальная стоимость: 144.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Расчет вакуумных систем технологического оборудования» онлайн:

Комментарии ():