Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки.
Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Категория: техническая литература
ISBN: 978-5-7038-5813-4
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2023
Легальная стоимость: 154.9 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():