Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
Категория: учебная литература
ISBN: 9785534197709
Правообладатель: ЮРАЙТ
Год: 2025
Легальная стоимость: 1589.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():